O le 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory ose galuega tele faufale a lo'u atunuu i mea tau eletise i le taimi o le Fuafuaga Lona Iva Lima Tausaga e gaosia ai tupe meataalo i le laina lautele o le 0.18 microns ma le lautele o le 200 mm.
O le gaosiga o tekonolosi faʻapipiʻi faʻapipiʻi tetele tele e le gata e aofia ai tekonolosi maualuga e pei o micro-machining, ae tuʻuina atu foi manaʻoga maualuga i le mama kesi.
O le tele o kesi sapalai mo le Poloketi 909 o loʻo tuʻuina atu e se kamupani faʻatasi i le va o Praxair Utility Gas Co., Ltd. o le Iunaite Setete ma vaega talafeagai i Shanghai e faʻavae faʻatasi ai se fale gaosi kesi. O le gaosiga o le kesi e lata ane i le fale gaosi oloa 909. fale, e aofia ai se vaega e tusa ma le 15,000 sikuea mita. Ole mama ma mea e mana'omia ole kasa eseese
O le maualuga o le mama mama (PN2), nitrogen (N2), ma le maualuga o le okesene mama (PO2) e gaosia e ala i le vavaeeseina o le ea. Ole hydrogen mama maualuga (PH2) e gaosia ile electrolysis. Argon (Ar) ma le helium (He) e fa'atau mai fafo. O le quasi-gas e faʻamamaina ma faʻamama mo le faʻaaogaina i le Poloketi 909. O le kesi faʻapitoa e tuʻuina atu i fagu, ma o le kapoti fagu kesi o loʻo i totonu o le aʻoga fesoasoani a le fale gaosi eletise tuʻufaʻatasia.
O isi kasa e aofia ai foi ma le mama mamago compressed air CDA system, faʻatasi ai ma le faʻaaogaina o le 4185m3 / h, o le sau o le mamafa o le -70°C, ma le lapopoa e le sili atu i le 0.01um i le kesi i le taimi e faʻaoga ai. Manava fa'apipi'i ea (BA) faiga, fa'aoga voluma 90m3/h, mamafa le sau 2 ℃, lapo'a vaega i le kesi i le tulaga o le fa'aoga e le sili atu nai lo le 0.3um, fa'agasologa gaogao (PV) faiga, fa'aoga voluma 582m3/h, tikeri gaogao i le tulaga o le faaaogaina -79993Pa. Fa'amama fa'amama (HV), fa'aoga voluma 1440m3 / h, vacuum degree i le fa'aoga -59995 Pa. O le ea compressor potu ma vacuum pamu potu o lo'o i totonu o le 909 galuega fa'atino fale gaosi.
Filifiliga o mea paipa ma mea faʻaoga
O le kesi o lo'o fa'aaogaina i le VLSI gaosiga e matua'i maualuga le mama.Paipa kesi maualuga mamae masani ona faʻaaogaina i totonu o siosiomaga gaosiga mama, ma e tatau ona ogatusa le pulea o le mama pe maualuga atu nai lo le tulaga mama o le avanoa o loʻo faʻaaogaina! E le gata i lea, o paipa kesi maualuga-mama e masani ona faʻaaogaina i siosiomaga gaosiga mama. O le hydrogen mama (PH2), okesene maualuga-mama (PO2) ma nisi kasa fa'apitoa e mu, pa, fa'amumu-lagolago po'o kasa oona. Afai e le lelei le fuafuaina o le paipa kesi poʻo mea e le lelei le filifilia, e le gata o le a faʻaitiitia le mama o le kesi o loʻo faʻaaogaina i le kesi, ae o le a le manuia foi. E fetaui ma le faagasologa o manaʻoga, ae e le saogalemu le faʻaaogaina ma o le a mafua ai le filogia i le fale gaosi mama, e afaina ai le saogalemu ma le mama o le fale mama.
O le faʻamautinoaga o le lelei o le kesi maualuga-mama i le tulaga o le faʻaogaina e le gata e faʻalagolago i le saʻo o le gaosiga o le kesi, masini faʻamamaina ma filiga, ae o loʻo aʻafia foi i se tulaga tele e le tele o mea i totonu o le pipeline system. Afai tatou te fa'alagolago i masini gaosiga o le kesi, mea e fa'amamāina ai ma fa'amamāina E na'o le le sa'o le tu'uina atu o mana'oga sa'o maualuga e le i'u e totogi ai le fa'aogaina o le faiga o paipa kesi le talafeagai po'o le filifilia o meafaitino.
I le faagasologa o le mamanu o le poloketi 909, na matou mulimuli ai i le "Code for Design of Clean Plants" GBJ73-84 (o le tulaga o loʻo i ai nei (GB50073-2001)), "Code for Design of Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code mo Design of Oxygen Stations" GB50030-91 , "Code for Design of Hydrogen and Oxygen Stations" GB50177-93, ma faiga faʻapitoa talafeagai mo le filifilia o mea paipa ma mea faʻaoga. "Code for Design of Clean Plants" o loʻo faʻatonuina ai le filifilia o mea faʻapipiʻi paipa ma valve e pei ona taua i lalo:
(1) Afai o le kasa mama e sili atu pe tutusa ma le 99.999% ma o le sau e maualalo ifo i le -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo-carbon uamea paipa uamea (316L) ma electropolished puipui totonu po o OCr18Ni9 paipa uamea (304) ma e tatau ona fa'aogaina le puipui i totonu ua fa'aeletonika. O le alatoto e tatau ona avea ma alatoto o le diaphragm poʻo le alavai faʻafefe.
(2) Afai o le mama kasa e sili atu pe tutusa ma le 99.99% ma le sau o loʻo i lalo ifo o le -60 ° C, o le OCr18Ni9 faʻauʻu uamea (304) ma le puipui i totonu e tatau ona faʻaogaina. Se'i vagana ai alavai fa'a'au'au e tatau ona fa'aoga mo paipa kesi mu, e tatau ona fa'aoga alavai polo mo isi paipa kesi.
(3) Afai o le sau o le ea compressed mago e maualalo ifo i le -70 ° C, OCr18Ni9 paipa uʻamea (304) faʻamago puipui totonu e tatau ona faʻaaogaina. Afai o le sau e maualalo ifo i le -40 ℃, OCr18Ni9 paipa u'amea (304) po'o le u'amea vevela paipa u'amea seamless e tatau ona fa'aoga. O le alatoto e tatau ona avea ma se alavai o le polo.
(4) E tatau ona fetaui le mea o le valve ma le mea e fesoʻotaʻi ai paipa.
E tusa ai ma manaʻoga o faʻamatalaga ma faiga faʻatekinisi talafeagai, matou te mafaufau i vaega nei pe a filifilia mea faʻapipiʻi:
(1) E tatau ona laʻititi le faʻaogaina o le ea o mea paipa. O paipa o mea eseese e eseese le fa'aogaina o le ea. Afai e filifilia paipa e sili atu le malosi o le ea, e le mafai ona aveesea le filogia. O paipa u'amea u'amea ma paipa apamemea e sili atu ona lelei i le puipuia o le ulu ma le pala o le okesene i le ea. Ae ui i lea, talu ai o paipa uʻamea e le aoga nai lo paipa apamemea, o paipa apamemea e sili atu ona malosi i le faʻatagaina o le susu i totonu o le siosiomaga e ulu atu i totonu o latou pito i totonu. O le mea lea, pe a filifilia paipa mo paipa kesi maualuga-mama, paipa uamea e tatau ona avea ma filifiliga muamua.
(2) O le pito i totonu o le mea paipa o loʻo faʻapipiʻiina ma e itiiti sona aʻafiaga i le suʻeina o le kesi. A maeʻa ona faʻaogaina le paipa uʻamea, o le a taofia se aofaʻi o kesi i totonu o lona lattice uʻamea. A pasi atu le kasa maualuga-mama, o lenei vaega o le kesi o le a ulufale i le ea tafe ma mafua ai le filogia. I le taimi lava e tasi, ona o le adsorption ma le auʻiliʻiliga, o le uʻamea i luga o le pito i totonu o le paipa o le a maua ai foi se aofaiga o le paʻu, mafua ai le faʻaleagaina i le kesi maualuga-mama. Mo faiga paipa ma le mama i luga atu 99.999% po o le ppb tulaga, 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo carbon stainless paipa uamea (316L) e tatau ona faaaoga.
(3) O le ofuina o paipa uʻamea e sili atu nai lo paipa apamemea, ma o le pefu uʻamea e mafua mai i le tafia o le ea e faʻaitiitia. O aʻoaʻoga gaosiga ma manaʻoga maualuga mo le mama e mafai ona faʻaogaina paipa uʻamea 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo (316L) poʻo OCr18Ni9 paipa uʻamea (304), e le tatau ona faʻaaogaina paipa apamemea.
(4) Mo paipa paipa e mama kasa i luga atu o le 99.999% poʻo le ppb poʻo le ppt, poʻo totonu o potu mama e iai le maualuga o le mama o le ea o le N1-N6 o loʻo faʻamaonia i le "Clean Factory Design Code", paipa mama poʻo.EP ultra-mama paipae tatau ona faʻaaogaina. Fa'amama "fa'agai'au mama ma le pito i totonu e matua lamolemole".
(5) O nisi o faiga faʻapitoa paipa kesi o loʻo faʻaaogaina i le gaosiga o gaosiga o kasa sili ona leaga. O paipa i totonu o nei paipa paipa e tatau ona fa'aogaina paipa u'amea e le pala e fai ma paipa. A leai, o le a faaleagaina paipa ona o le pala. Afai e tupu ni mea e pala i luga, e le tatau ona fa'aogaina paipa u'amea masani po'o paipa u'amea uamea.
(6) I le mataupu faavae, e tatau ona uelo uma sootaga paipa kesi. Talu ai o le ueloina o paipa u'amea o le a fa'aumatia ai le u'amea, o paipa uamea e le fa'aaogaina mo paipa i potu mama.
I le iloiloina o mea taua i luga, o paipa paipa kesi ma valve ua filifilia i le &7& poloketi e pei ona taua i lalo:
O le maualuga-mama nitrogen (PN2) faiga paipa e faia i 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo-carbon uamea paipa uamea (316L) ma electropolished puipui totonu, ma o valve ua faia i le uamea stainless valves o mea lava e tasi.
O le nitrogen (N2) paipa faiga e faia i 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo-carbon uamea uʻamea paipa (316L) ma electropolished puipui i totonu, ma o le valve ua faia i le uamea stainless valves o mea lava e tasi.
O le maualuga-mama hydrogen (PH2) faiga paipa e faia i 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo-carbon stainless steel paipa (316L) ma electropolished puipui i totonu, ma o valve ua faia i le uamea stainless valves o mea lava e tasi.
O paipa o le okesene maualuga-mama (PO2) o loʻo faia i 00Cr17Ni12Mo2Ti paipa uʻamea uʻamea maualalo (316L) faʻatasi ma puipui i totonu eletise eletise, ma o vaʻavaʻa e faia i le uʻamea uʻamea uʻamea o le mea lava e tasi.
Argon (Ar) faiga paipa ua faia i 00Cr17Ni12Mo2Ti maualalo-carbon uamea paipa uamea (316L) ma electropolished puipui i totonu, ma uamea uamea alavai o mea lava e tasi o loo faaaogaina.
O paipa o le helium (He) o loʻo faia i paipa uʻamea maualalo 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) faʻatasi ma puipui i totonu eletise, ma o vaʻavaʻa e faia i le uamea faʻamaʻi uʻamea o le mea lava e tasi.
O paipa fa'apipi'i mama mamago (CDA) o lo'o faia i paipa u'amea u'amea OCr18Ni9 (304) fa'atasi ai ma puipui i totonu ua fa'aiila, ma o va'a e faia i va'a u'amea uamea o le mea lava e tasi.
O paipa faʻapipiʻi manava (BA) o loʻo faia i paipa uʻamea uʻamea OCr18Ni9 (304) faʻatasi ai ma puipui i totonu ua faʻalelei, ma o vaʻa e faia i vili polo uʻamea o le mea lava e tasi.
O paipa faiga (PV) faiga e fai i paipa UPVC, ma alatoto e faia i vacuum butterfly valve e faia i le mea lava e tasi.
O paipa fa'amama fa'amama (HV) o lo'o faia i paipa UPVC, ma o va'a e faia i vacuum butterfly valve e faia i mea tutusa.
O paipa o le kasa faʻapitoa faʻapitoa o loʻo faia uma i 00Cr17Ni12Mo2Ti paipa uʻamea uʻamea maualalo (316L) faʻatasi ai ma puipui i totonu electropolished, ma o vaʻa e faia i le uʻamea uʻamea uʻamea o le mea lava e tasi.
3 Fausia ma fa'apipi'i o paipa
3.1 Vaega 8.3 o le “Clean Factory Building Design Code” o loʻo faʻamaonia ai aiaiga nei mo fesoʻotaʻiga paipa:
(1) E tatau ona ueloina sootaga o paipa, ae o paipa uamea uamea vevela e tatau ona filo.
(2) O paipa u'amea e tatau ona fa'afeso'ota'i e ala i le uelo argon ma le uelo po'o le socket, ae e tatau ona fa'afeso'ota'i paipa kesi maualuga mama e ala i le fa'ailoga e aunoa ma ni fa'ailoga i le puipui i totonu.
(3) O le fesoʻotaʻiga i le va o paipa ma meafaigaluega e tatau ona tausisia manaoga fesoʻotaʻiga o meafaigaluega.
(4) O le sootaga i le va o paipa ma valve e tatau ona tausisia tulafono faatonutonu nei
① O mea faʻamaufaʻailoga e faʻafesoʻotaʻi ai paipa kesi maualuga-mama ma valve e tatau ona faʻaogaina uʻamea uʻamea poʻo faʻalua ferrules e tusa ai ma manaʻoga o le gaosiga o gaioiga ma uiga kesi.
②O mea faʻamaufaʻailoga i le filo poʻo le flange e tatau ona polytetrafluoroethylene.
3.2 E tusa ai ma manaʻoga o faʻamatalaga ma faiga faʻapitoa faʻapitoa, o le fesoʻotaʻiga o paipa kesi maualuga-mama e tatau ona faʻapipiʻiina i le tele e mafai ai. E tatau ona aloese mai le uelo tuusao i le taimi o le uelo. E tatau ona fa'aoga lima paipa po'o so'oga ua mae'a. O lima paipa e tatau ona faia i le mea lava e tasi ma le lamolemole pito i totonu e pei o paipa. tulaga, i le taimi o le uelo, ina ia puipuia ai le faʻamaʻiina o le vaega uʻamea, e tatau ona tuʻuina atu le kasa puipuia mama i totonu o le paipa uʻamea. Mo paipa u'amea u'amea, argon arc uelo e tatau ona fa'aoga, ma le kasa argon o le mama tutusa e tatau ona fa'aofi i totonu o le paipa. So'oga filo po'o so'oga filo e tatau ona fa'aoga. Pe a fa'afeso'ota'i fuga, e tatau ona fa'aoga ferrules mo so'oga filo. Vagana ai paipa okesene ma paipa hydrogen, lea e tatau ona fa'aoga u'amea, o isi paipa e tatau ona fa'aoga polytetrafluoroethylene gaskets. O le fa'aogaina o sina pa'u silicone i gaskets o le a aoga foi. Faʻaleleia le faʻamaufaʻailoga. E tatau ona faia faiga fa'apena pe'ā faia feso'ota'iga flange.
Aʻo leʻi amataina galuega faʻapipiʻi, o se suʻesuʻega vaʻaia o paipa,mea fa'apipi'i, valves, etc. e tatau ona faia. O le puipui i totonu o paipa uʻamea masani e tatau ona piki ao leʻi faʻapipiʻiina. O paipa, mea faʻapipiʻi, valve, ma isi mea o paipa okesene e tatau ona matua faʻasaina mai le suauu, ma e tatau ona matua faʻafefeteina e tusa ai ma manaʻoga talafeagai aʻo leʻi faʻapipiʻiina.
Aʻo leʻi faʻapipiʻiina le faiga ma faʻaaogaina, e tatau ona faʻamamaina atoatoa le faʻaogaina ma le tufatufaina atu o le paipa ma le kesi maualuga mama. O lenei mea e le gata ina feulaina ese ai le pefu na faʻafuaseʻi ona paʻu i totonu o le faiga i le taimi o le faʻapipiʻiina, ae o loʻo faia foi se sao faʻamago i totonu o le paipa, aveese vaega o le kasa o loʻo i ai le susu o loʻo mitiia e le paipa paipa ma e oʻo lava i mea paipa.
4. Su'ega o le mamafa o paipa ma le taliaina
(1) A maeʻa ona faʻapipiʻi le faiga, e tatau ona faia le 100% suʻesuʻega leitio o paipa o loʻo felauaiga vai oona i totonu o paipa kesi faʻapitoa, ma o latou tulaga lelei e le tatau ona maualalo ifo i le Laasaga II. O isi paipa e tatau ona fa'atatau i su'esu'ega fa'ata'ita'i fa'ata'ita'iga, ma o le fua faatatau o su'esu'ega fa'ata'ita'iga e le tatau ona la'ititi ifo i le 5%, e le tatau ona la'ititi ifo le lelei nai lo le vasega III.
(2) A maeʻa ona pasia le asiasiga e le faʻaleagaina, e tatau ona faia se suʻega o le mamafa. Ina ia faʻamautinoa le mago ma le mama o le paipa, e le tatau ona faia se suʻega o le mamafa o le hydraulic, ae tatau ona faʻaaogaina se suʻega o le mamafa o le pneumatic. O le su'ega o le mamafa o le ea e tatau ona faia e fa'aaoga ai le nitrogen po'o le ea fa'apipi'i e fetaui ma le tulaga mama o le potu mama. O le mamafa o le suʻega o le paipa e tatau ona 1.15 taimi le mamafa o le mamanu, ma le faʻataʻitaʻiga o le suʻega paipa e tatau ona 0.2MPa. I le taimi o le suʻega, e tatau ona faʻasolosolo malie ma faʻagesegese le faʻateleina. A oʻo atu le mamafa i le 50% o le mamafa o le suʻega, pe afai e leai se faʻalavelave poʻo le leakage e maua, faʻaauau pea ona faʻateleina le mamafa i lea laasaga ma lea laasaga i le 10% o le mamafa o le suʻega, ma faʻamautu le mamafa mo le 3 minute i laʻasaga taʻitasi seia oʻo i le mamafa o le suʻega. . Faʻamautu le mamafa mo le 10 minute, ona faʻaititia lea o le mamafa i le mamanu mamanu. O le taimi e taofi ai le mamafa e tatau ona fuafua e tusa ai ma manaʻoga o le suʻeina o le leak. E agava'a le sui fa'afu'a pe a leai se liki.
(3) A maeʻa ona pasia e le masini masini le suʻega o le mamafa, e tatau foi ona faia se suʻega 24-itula vacuum degree e tusa ai ma pepa mamanu, ma e le tatau ona sili atu nai lo le 5%.
(4) Su'ega le leaka. Mo le ppb ma le ppt grade pipeline system, e tusa ai ma faʻamatalaga talafeagai, e le tatau ona manatu le leakage e agavaa, ae o le suʻega o le leakage e faʻaaogaina i le taimi o le mamanu, o lona uiga, o le suʻega o le leakage e faia pe a uma le suʻega o le ea. O le mamafa o le mamafa galue, ma e taofi le mamafa mo le 24 itula. O le averesi o le ta'i itula e la'ititi ifo pe tutusa ma le 50ppm pei ona agava'a. Ole fa'atusatusaga ole leakage e fa'apea:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
I le fua fa'atatau:
Ta'i itula (%)
P1-A'ai atoatoa ile amataga ole su'ega (Pa)
P2-Omiga atoatoa i le faaiuga o le suʻega (Pa)
T1-vevela atoatoa ile amataga ole su'ega (K)
T2-vevela atoatoa ile faaiuga ole su'ega (K)
Taimi meli: Tes-12-2023